Plazma kesish boshqaruvchisi asosan quyidagi komponentlarni o'z ichiga oladi:
Yuqori{0}}chastotali quvvat manbai: Yuqori-chastotali elektr maydonini hosil qilish uchun ishlatiladi;
Moslashuvchi tarmoq: plazma kamerasi ichida yuqori{0}}chastotali elektr maydonining taqsimlanishini sozlash uchun ishlatiladi;
Plazma kamerasi: gaz molekulalarini ionlashtirish va plazma hosil qilish uchun ishlatiladi;
Vakuum tizimi: plazma kamerasining vakuum darajasini va barqarorligini ta'minlaydi;
Boshqarish tizimi: plazma parametrlarini nazorat qilish va plazmaning elektr xususiyatlarini barqaror boshqarishga erishish uchun ishlatiladi.
